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無塵車間，亦稱為潔凈室或無塵室。無塵車間是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

無塵車間設(shè)立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型化和*密化，塵埃和溫濕的變化對商品的完成度亦造成*的危害，導(dǎo)致品質(zhì)低下。伴隨商品的高品質(zhì)要求，環(huán)境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵車間中用防塵材料及商品都顯得格外重要。

所謂的無塵車間是一個人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級數(shù)的快速成長，也增加了對制造環(huán)境(無塵車間)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產(chǎn)品的運作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。

建好一個無塵車間,要根據(jù)實際的生產(chǎn)流程設(shè)定相應(yīng)的功能間,同時考慮人流物流的走向和工作效率.在平面方案初步確定的基礎(chǔ)上,再確定潔凈區(qū)與非潔凈區(qū),潔凈區(qū)的潔凈等級.然后確定相應(yīng)的換氣次數(shù)或是截面風(fēng)速.然后布置送回風(fēng)口,設(shè)計潔凈送風(fēng)機組(大小,位置,風(fēng)機空調(diào)選型等),設(shè)計送回新風(fēng)管道等